原创力文档2026人造金刚石在散热基板中的应用
目录
TOC\o1-3\h\z\u摘要 3
一、研究背景与核心议题界定 5
1.12026年人造金刚石散热基板的战略意义 5
1.2研究范围与关键假设 6
二、人造金刚石材料基础与热物理特性 9
2.1单晶与多晶金刚石的结构差异 9
2.2极限热导率与各向异性分析 12
2.3热膨胀系数与晶格失配问题 14
三、散热基板制备核心工艺技术路线 16
3.1MPCVD法生长参数控制 16
3.2化学气相沉积（CVD）设备国产化现状 19
3.3高纯度与缺陷控制技术难点 22
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