CN119542121A 一种低电阻TiN半导体薄膜及其制备工艺 (重庆鹰谷光电股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-09 发布于重庆
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CN119542121A 一种低电阻TiN半导体薄膜及其制备工艺 (重庆鹰谷光电股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119542121A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202411716437.5

(22)申请日2024.11.27

(71)申请人重庆鹰谷光电股份有限公司

地址400060重庆市南岸区经开区丹龙路7

号E幢

(72)发明人黄益中汪振覃朋飞范忠孝

简茂余

(74)专利代理机构重庆顾迪专利代理事务所

(普通合伙)50246

专利代理师温馨

(51)Int.Cl.

H01L21/02(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书1页说明书

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