CN119553232A 一种氧化钴靶材及其制备方法与应用 （先导薄膜材料（广东）有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119553232A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202411713842.1

(22)申请日2024.11.27

(71)申请人先导薄膜材料（广东）有限公司

地址511517广东省清远市高新区百嘉工

业园27-9号A区

(72)发明人谢小林钱名娟唐虎文崇斌

余飞

(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限

公司44202

专利代理师柯梦云

(51)Int.Cl.

C23C14/34(2006.01)

C23C14/35(2006.01)

C23C14/08(2006.01)