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化学机械测试题及答案.doc

化学机械测试题及答案.doc

    化学机械测试题及答案

    一、单项选择题（每题2分，共20分）

    1.以下哪种物质不属于化学机械抛光液的主要成分？（）

    A.磨料B.添加剂C.溶剂D.催化剂

    2.化学机械加工中，材料去除的主要方式是（）。

    A.纯机械去除B.纯化学去除C.化学与机械协同去除D.物理吸附去除

    3.化学机械抛光中，磨料的硬度一般（）被抛光材料的硬度。

    A.大于B.小于C.等于D.无要求

    4.以下哪种磨料常用于化学机械抛光？（）

    A.金刚石B.碳化硅C.二氧化硅D.氮化硼

    5.化学机械加工过程中，温度升高会（

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