第一章---薄膜及其特性.pptVIP

1.1薄膜的概念;;;1薄膜的几种定义;定义1的特点：;上平面：空气;三、定义3：;●薄膜(thinfilm)：由物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、溶液镀膜法等薄膜技术制备的薄层。;涂层;Silicon-On-SapphireWafers;SubstrateforIII-VNitrideEpitaxy.;;;;;〔2〕薄膜材料科学与技术的研究内容;1.2薄膜材料的分类;1.2薄膜材料的分类;;;;;;;;1.3薄膜材料的特殊性;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;所以选择适宜的衬底材料或者在衬底外表形成中间层，有助于获得附着牢固的薄膜。

所以