CN119618624A 真空角阀的多功能测试系统的操作方法 (长沙华实半导体有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-11 发布于重庆
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CN119618624A 真空角阀的多功能测试系统的操作方法 (长沙华实半导体有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119618624A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411694478.9

(22)申请日2024.11.25

(71)申请人长沙华实半导体有限公司

地址410323湖南省长沙市浏阳市永安镇

督正路1号长沙华实半导体有限公司

(72)发明人朱永超刘阳

(74)专利代理机构北京恒博知识产权代理有限

公司11528

专利代理师周丹娜

(51)Int.Cl.

G01M13/003(2019.01)

G01M3/28(2006.01)

权利要求书3页说明书15页附图6页

(54

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