T∕CASAS 068-2026 碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨.pdf

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ICS31.030

CCSQ51

团体标准

T/CASAS068—2026

碳化硅晶片制造用各向性多孔石墨

Isotropicporousgraphiteforsiliconcarbidewafermanufacturing

2026-05-06发布

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