Primarius Tech Technical Manual ATS Technical Manual说明书用户手册.pdf

ATS

晶圆级全自动量测解决方案

简介

ATS是概伦电子基于FS-Pro半导体参数分析仪和自研硬件设备开发的全面自动量测解决方案。凭借概伦多年在自动量测与建模领域的经验，该方

案以全面的软硬件集成为基础，涵盖电流电压（IV）、电容电压（CV）、脉冲式IV、高速时域信号采集、低频噪声测试以及多种可靠性测试。

通过概伦自主研发的低漏电矩阵开关和主流型号的探针台，ATS实现了半自动或全自动测试，适用于多种自动化量测场景。其广泛应用于晶圆级电学

参数测试，支持Vt、Gm、Idlin、Idsat、Ioff、Swing、Cgg等参数的全晶圆器件测试。此外，ATS还可用于器件模型数据测试