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- 2026-08-13 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119758673A
(43)申请公布日2025.04.04
(21)申请号202411713006.3
(22)申请日2024.11.26
(71)申请人广州市香港科大霍英东研究院
地址511458广东省广州市南沙区南沙资
讯科技园科技楼
申请人香港科技大学（广州）
(72)发明人罗杨马宇哲
(74)专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有
限公司44205
专利代理师谭晓欣
(51)Int.Cl.
G03F7/20(2006.01)
权利要求书2页说明书13页附图4页
(54)发明名称
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