CN119764170A 晶圆刻蚀方法及半导体工艺设备 （北京北方华创微电子装备有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119764170A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202411709616.6

(22)申请日2024.11.26

(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区文昌大道8号

(72)发明人秦乾朱海云钟桂豪骆军

(74)专利代理机构北京荟英捷创知识产权代理

事务所(普通合伙)11726

专利代理师李也庚

(51)Int.Cl.

H01L21/311(2006.01)

H01J37/32(2006.01)

H01L21/67(2006.01)