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MEMS光学传感器研发工程师考试试卷及答案

MEMS光学传感器研发工程师考试试卷及答案

一、填空题（共10题，每题1分）

1.MEMS光学传感器中常用的微镜驱动方式有静电驱动、______和压电驱动。

2.光学传感器的核心参数之一是______，表示单位光强下输出信号的大小。

3.MEMS器件的微加工技术中，______工艺常用于制作高深宽比的结构。

4.光电二极管的主要特性参数包括响应度、______和暗电流。

5.光纤与MEMS器件耦合时，常用的对准方式有主动对准和______。

6.光学传感器中的噪声类型主要有热噪声、______和散粒噪声。

7.MEMS微镜的主要性能指标包括偏转角度、______和响应速度。

8.用于检测光强的MEMS传感器中，______是将光信号转换为电信号的核心元件。

9.在MEMS光学系统中，______用于控制光的传播方向或聚焦。

10.光学传感器的动态范围是指最大可检测信号与______的比值。

二、单项选择题（共10题，每题2分）

1.以下哪种MEMS微镜驱动方式具有低功耗、大偏转角度的特点？（）

A.静电驱动B.电磁驱动C.压电驱动D.热驱动

2.光电倍增管与光电二极管相比，主要优势是？（）

A.响应速度快B.增益高C.体积小D.成本低

3.MEMS光学传感器中，用于测量距离的常用技术是？（）

A.干涉法B.衍射法C.时间-of-flig