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半导体厂务工程师岗位运维考试试卷及答案

半导体厂务工程师岗位运维考试试卷及答案

一、填空题（共10题，每题1分）

1.半导体洁净室等级通常依据______标准划分。

2.半导体生产中常用的保护气体氮气的典型纯度要求为______。

3.纯水系统中RO的中文名称是______。

4.洁净室中用于净化空气的FFU中文全称是______。

5.ESD防护中，人体接地电阻应不大于______Ω。

6.半导体厂常用的干式真空泵类型有______（写出一种即可）。

7.无尘服的主要材质通常为______。

8.气体管道泄漏检测常用的方法是______。

9.半导体废水处理后排放的pH值应控制在______