等离子体空蚀笔式切割器微加工技术研究.pdfVIP

W1C.004

等离子体空蚀笔式切割器：实现高效微加工

1111,21

荒川勇,大村真,辻本大,与山西義孝芝浦工业大

学，东京，2振兴机构PRESTO，

我们成功开发出基于空蚀效应与等离子体辐照协同

作用的新型加工设备。该技术兼具空蚀强力去除材料与

等离子体辐照的优势，其创新性在于不仅能加工导电材

料，还可处理聚合物、碳纤维增强塑料(CFRP)及硅等

非导电材料，突破了传统线切割放电加工机的局限。气

泡的定向输运特性确保了微米级加工定位精度，且等离

子体空蚀笔式切割器具有低成本、结构极简的特点。

图1：电火花加工示意图。

该技术可显著提升概念

可加工金属板、聚合物、碳纤维及生物材料等广泛材料。图2展示了等离子体空化笔式切割器的概念设计。

放电作用于安装在玻璃