CN119465026A 非晶态薄膜及其制备方法和应用 （浙江大学杭州国际科创中心）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119465026A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202411666729.2

(22)申请日2024.11.20

(71)申请人浙江大学杭州国际科创中心

地址311200浙江省杭州市萧山区经济技

术开发区建设三路733号

(72)发明人党超群经佩佩杨琛居冰峰

(74)专利代理机构杭州华进联浙知识产权代理

有限公司33250

专利代理师储照良

(51)Int.Cl.

C23C14/06(2006.01)

C23C14/35(2006.01)

C23C14/54(2006.01)

C23C14/02(2006.01)