集成电路工厂化学品污染防控工程技术规范标准化发展研究报告.docxVIP

集成电路工厂化学品污染防控工程技术规范修订研究报告

TechnicalSpecificationforChemicalPollutionPreventionandControlEngineeringofElectronicIndustry—ResearchReportonStandardRevision

摘要

随着集成电路制造技术节点持续向5纳米及以下先进制程演进，化学品用量与种类呈指数级增长，工厂化学品污染防控面临前所未有的技术挑战。现行《集成电路工厂化学品污染防控工程技术规范》（以下简称“原规范”）自发布实施以来，对规范行业设计建设、保障职业健康安全发挥了重要作用，但已难以适应产业技术迭代与环保政策趋严的双重需求。本报告基于工业和信息化部2024年标准制修订计划（项目编号：2024-0771T-SJ），对原规范进行全面修订的必要性、技术内容更新方向及预期效益进行系统研究。报告深入分析了集成电路工厂化学品污染防控的技术现状与发展趋势，明确了修订工作在污染物种类扩展、防控技术升级、智能化管控要求强化等方面的重点方向。修订后的规范将进一步提升行业污染防控水平，支撑半导体产业绿色高质量发展，为相关标准体系建设提供重要技术支撑。

关键词

行业标准；标准化；技术规范

Abstract

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