原创力文档中国电子工业标准化技术协会
团体标准《印制电路板等离子除胶尾气处理装置技术规范》
（征求意见稿）编制说明
一、工作简况
（一）产品和行业发展情况
随着AI服务器、5G通信、新能源汽车、高端消费电子及先进封装等产业快速发展，
印制电路板（PCB）持续向高密度互连、高厚径比、高频高速和高可靠性方向升级。PCB制
造过程中，钻孔、激光加工及后续金属化工艺对孔壁清洁度、树脂残留控制、表面活化效果
及制程稳定性提出了更高要求。
等离子除胶技术作为一种先进干法处理工艺，能够在真空或低压环境下
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