ISO 244772022 真空技术.真空计.旋转转子计的规范、校准和测量不确定度标准立项发展报告.docxVIP

真空技术真空计旋转转子计的规范、校准和测量不确定度标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Vacuumtechnology—Vacuumgauges—Specifications,calibrationandmeasurementuncertaintiesforspinningrotorgauges

摘要

旋转转子真空计（SpinningRotorGauge,SRG）作为真空测量领域中唯一基于动量传递原理的高精度绝对真空计，在真空计量标准传递、半导体制造、粒子加速器及航空航天环境模拟等尖端领域具有不可替代的地位。国际标准ISO24477:2022《真空技术真空计旋转转子计的规范、校准和测量不确定度》由国际标准化组织（ISO）技术委员会ISO/TC112（真空技术委员会）制定，于2022年8月正式发布。该标准系统规定了旋转转子计的术语定义、技术要求、校准程序及测量不确定度评定方法，填补了国际真空计量标准体系中针对该类仪器的专项技术规范空白。本报告全面梳理了该标准的立项背景、技术内容框架、关键创新点及行业应用价值，分析了标准废止可能带来的技术规范真空风险，并对旋转转子计标准的修订方向提出了前瞻性建议。报告指出，旋转转子计在宽量程范围内的优异稳定性（其满量程不确定度可达1%以内）使其在真空计