《SnO2导电薄膜制备研究》16000字.docx

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SnO2导电薄膜制备研究

摘要

透明导电氧化物薄膜是指具有高透光率同时兼有良好的电学性能的半导体薄膜材料。其中SnO2薄膜具有非常好的电学性能、光学性能、磁学性能和气体敏感性等特性,是最早被广泛应用的透明导电薄膜材料。SnO2薄膜的性能优劣很大程度上依赖于制备工艺，同时通过对其进行适当的元素掺杂可获得更具优势的性能。

本文以已有文献为基础，采用实验室常用的溶胶-凝胶（Sol-Gel）技术和旋涂镀膜法制备SnO2薄膜。探讨溶胶制备与镀膜过程的实验参数对成膜品质的影响，并对薄膜制备工艺改进优化。主要的实验方案为以SnCl4·5H2O作为SnO2的原料，SbC