CN119620647A 嵌入式控制系统、嵌入式控制方法及光刻机 （天府兴隆湖实验室）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119620647A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411678246.4

(22)申请日2024.11.22

(71)申请人天府兴隆湖实验室

地址610000四川省成都市天府新区科智

路999号

(72)发明人罗先刚李成建刘明刚

(51)Int.Cl.

G05B19/042(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图2页

(54)发明名称

嵌入式控制系统、嵌入式控制方法及光刻机

(57)摘要

本申请实施例提供一种嵌入式控制系统、嵌

入式控制方法及光刻机，涉及集成电路装备制造

技术领域。嵌入式控制系统采用