CN119626931A 半导体工艺设备 （北京北方华创微电子装备有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119626931A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411687182.4C23C16/24(2006.01)

(22)申请日2024.11.22

(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

地址100176北京市大兴区经济技术开发

区文昌大道8号

(72)发明人张宁郑慧娜王达范秀哲

(74)专利代理机构北京国昊天诚知识产权代理

有限公司11315

专利代理师施敬勃

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/677(2006.01)

H10F71/1