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《薄膜材料的制备》PPT课件

1薄膜材料的制备1.1薄膜的形成机理1.2物理气相沉积1.3化学气相沉积1.4化学溶液镀膜法1.5液相外延制膜法1.6膜厚的测量与监控先进材料制备技术LOGO

1.1薄膜的形成机理薄膜材料在现代科学技术中应用十分广泛,制膜技术的发展也十分迅速。制膜方法—分为物理和化学方法两大类；具体方式上—分为干式、湿式和喷涂三种，而每种方式又可分成多种方法。先进材料制备技术LOGO

1.1薄膜的形成机理薄膜的生长过程(1)核生长型（VolmerVeber型）特点：到达衬底上的沉积原子首先凝聚成核，后续飞来的沉积原子不断聚集在核附近，使核在三维方向上不断长大而最终形成薄膜。这种类型的生长一般在衬底晶格和沉积膜晶格不相匹配（非共格）时出现，大部分的薄膜的形成过程属于这种类型。先进材料制备技术LOGO

1.1薄膜的形成机理薄膜生长的四个阶段a.成核：在此期间形成许多小的晶核，按同济规律分布在基片表面上；b.晶核长大并形成较大的岛：这些岛常具有小晶体的形状；c.岛与岛之间聚接形成含有空沟道的网络d.沟道被填充：在薄膜的生长过程中，当晶核一旦形成并达到一定尺寸之后，另外再撞击的离子不会形成新的晶核，而是依附在已有的晶核上或已经形成的岛上。分离的晶核或岛逐渐长大彼此结合便形成薄膜。先进