CN119141853A 一种晶圆uv卷膜贴膜装置及其工艺 (深圳市易天自动化设备股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-21 发布于重庆
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CN119141853A 一种晶圆uv卷膜贴膜装置及其工艺 (深圳市易天自动化设备股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119141853A

(43)申请公布日2024.12.17

(21)申请号202411635515.9B29C31/08(2006.01)

B26D7/18(2006.01)

(22)申请日2024.11.15

H01L21/67(2006.01)

(71)申请人深圳市易天自动化设备股份有限公

地址518000广东省深圳市宝安区沙井街

道沙头社区沙井南环路446号星展广

场1栋A座401

(72)

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