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- 2026-08-21 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119153351A
(43)申请公布日2024.12.17
(21)申请号202411628961.7
(22)申请日2024.11.15
(71)申请人华海清科股份有限公司
地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴
道11号
(72)发明人路新春田芳馨魏艺璇王超
刘杰
(51)Int.Cl.
H01L21/66(2006.01)
B24B37/015(2012.01)
B24B49/10(2006.01)
B24B37/10(2012.01)
B24B37/34(2012.01)
B24B57/02(2006.01)
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