ISO 253872026 微束分析 分析电子显微镜 高分辨透射电子显微镜点分辨率测定程序标准立项发展报告.docxVIP

微束分析分析电子显微镜高分辨透射电子显微镜点分辨率测定程序标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:MicrobeamAnalysis—AnalyticalElectronMicroscopy—ProceduresforDeterminingthePointResolutionofHigh-ResolutionTransmissionElectronMicroscope

摘要

高分辨透射电子显微镜（HRTEM）是材料科学、纳米技术、半导体工业及生命科学等领域中表征材料原子尺度结构的关键工具，其点分辨率直接决定了仪器的原子级成像能力。随着球差校正技术的成熟与商业化普及，HRTEM的点分辨率已从传统的0.2nm量级提升至亚埃级（0.1nm），这对分辨率测定程序的标准化提出了更高要求。在此背景下，国际标准化组织（ISO）发布了ISO25387:2026《微束分析分析电子显微镜高分辨透射电子显微镜点分辨率测定程序》，为全球范围内HRTEM点分辨率的统一测定提供了规范性技术依据。

本报告围绕该标准的立项背景、编制历程、核心技术内容、适用场景及预期影响展开系统阐述。标准明确了基于数字图像分析的测定流程，规定了标准样品选取、图像采集条件、傅里叶变换分析及分辨率判定准则等关键技术环节，适用于配备场发射