CN119419159A 一种晶圆预对准系统、方法及存储介质 （苏州盛拓半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119419159A

(43)申请公布日2025.02.11

(21)申请号202411648179.1

(22)申请日2024.11.19

(71)申请人苏州盛拓半导体科技有限公司

地址215200江苏省苏州市吴江区东太湖

生态旅游度假区（太湖新城）五方路

899号

(72)发明人陈庆生霍旭坤王康飞赵相宰

(74)专利代理机构北京华夏博通专利事务所

(普通合伙)11264

专利代理师石铁岩

(51)Int.Cl.

H01L21/68(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L21/66(2006.01)