ISO 14644-152026 洁净室和相关的受控环境 - 第15部分评估空气中化学品浓度对设备和材料的适用性标准立项发展报告.docx

洁净室和相关的受控环境-第15部分：评估空气中化学品浓度对设备和材料的适用性标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part15:Assessmentofsuitabilityforuseofequipmentandmaterialsbyairbornechemicalconcentration

摘要

随着半导体制造、生物医药、精密电子及光电器件等高科技产业的快速发展，洁净室及相关受控环境中气态化学污染物对产