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ISO 14644-132026 洁净室和相关的受控环境 第13部分清洁表面以达到颗粒和化学物质浓度规定的清洁水平标准立项发展报告.docx

ISO 14644-132026 洁净室和相关的受控环境 第13部分清洁表面以达到颗粒和化学物质浓度规定的清洁水平标准立项发展报告.docx

    洁净室和相关的受控环境第13部分：清洁表面以达到颗粒和化学物质浓度规定的清洁水平标准立项发展报告

    StandardizationDevelopmentReport:Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part13:Cleaningofsurfacestoachievedefinedlevelsofcleanlinessintermsofparticleandchemicalconcentration

    摘要

    随着半导体制造、生物制药、航空航天及医疗器械等高新技术产业的迅猛发展，洁净室及

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