原创力文档洁净室和相关的受控环境第13部分：清洁表面以达到颗粒和化学物质浓度规定的清洁水平标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part13:Cleaningofsurfacestoachievedefinedlevelsofcleanlinessintermsofparticleandchemicalconcentration
摘要
随着半导体制造、生物医药、精密仪器、航空航天及医疗器械等高新技术产业的快速发展
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