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TCASAS-碳化硅同质外延工艺过程质量控制规程.pdfVIP

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  • 2026-08-24 发布于上海
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TCASAS-碳化硅同质外延工艺过程质量控制规程.pdf

    ICS29.045

    CCSH83

    团体标准

    T/CASAS075—征求意见稿

    碳化硅同质外延工艺过程质量控制规程

    Codeofpracticeforin-processqualitycontrolofSiChomoepitaxial

    process

    （征求意见稿）

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