ISO 23131-22026 椭偏测量 第2部分体材料模型标准立项发展报告.docx

椭偏测量第2部分：体材料模型标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Ellipsometry—Part2:BulkMaterialModel

摘要

椭偏测量技术作为一种高精度、非破坏性的光学计量方法，在半导体、薄膜光伏、生物传感及先进材料表征等领域具有不可替代的地位。随着纳米制造工艺的不断演进，业界对椭偏测量数据解释的标准化需求日益迫切。本报告围绕国际标准化组织（ISO）于2026年1月30日正式发布的ISO23131-2:2026《椭偏测量第2部分：体材料模型》开展全面分析，系统阐述该标准的立项背景、编制历程、核心技术