IEC TS 62876-3-42025 纳米制造 可靠性评估 第3-4部分金属接触2D半导体器件输出特性的线性标准立项发展报告.docx

StandardizationDevelopmentReport:LinearityofOutputCharacteristicsforMetalContacted2DSemiconductorDevices

标准立项发展报告：金属接触2D半导体器件输出特性的线性

摘要

随着摩尔定律逐渐逼近物理极限，以二硫化钼（MoS?）、二硒化钨（WSe?）等为代表的二维（2D）半导体材料凭借原子级厚度、优异的电学性质和良好的机械柔韧性，成为后硅时代集成电路、柔性电子和量子器件等领域的核心候选材料。然而，2D半导体器件在产业化进程中面临可靠性评估方法缺失、测试标准不统一等突出瓶颈，其