CN119115844A 定位机构、定位方法及晶圆检测装置 （深圳市森美协尔科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119115844A

(43)申请公布日2024.12.13

(21)申请号202411604981.0

(22)申请日2024.11.12

(71)申请人深圳市森美协尔科技有限公司

地址518103广东省深圳市宝安区福海街

道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4

号楼三层

(72)发明人欧晓永余多明

(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限

公司44202

专利代理师陈舟苗

(51)Int.Cl.

B25B11/00(2006.01)

G01R31/28(2006.01)

G01R1/073(2006.01)

G01R1/04