多晶硅企业检查表.docxVIP

多晶硅企业检查表

序号

检查内容

检查依据

检查方式

检查情况

检查问题

整改建议

重大

隐患

1

1.硅粉上料采用气力管输方式时，应采用氮气作气源；硅粉加料缓冲罐应充入氮气保护，并采取防止高压窜入低压的措施；

2.三氯氢硅合成硅粉受料罐压力、料位监测及联锁；

3.三氯氢硅合成炉温度、压力监测和高报警，温度高高联锁、压力高高联锁；

4.三氯氢硅合成炉冷却系统温度、压力监测和高报警，压力高高联锁；

5.三氯氢硅合成洗涤塔温度、压力、液位监测，温度、压力高报警和液位高、低报警；

6.设置三氯氢硅合成炉紧急停车按钮，并能在控制室实现远程操作。

《多晶硅安全生产规范》（AQ3065-2025）

第5.1.2.1、5.1.2.2、5.1.2.3条

查阅安全设施设计报告、竣工验收报告、现状评价报告，现场核查。

2

1.应对树脂催化剂作用下的二氯二氢硅反歧化过程开展安全风险评估，树脂催化剂不应含有受热易分解基团。

2.反应器内的树脂催化剂使用前应进行充分干燥，水含量应不大于0.2%(质量分数)，催化剂的装填系数应不大于0.85。

3.干燥树脂催化剂时，干燥温度不应高于100℃,氧含量和露点应符合4.2.6的规定。

4.树脂催化剂正式使用前应先用低温液相四氯化硅活化，按照温度不高于60℃、温升不大于20℃/h速率浸泡并保持24h以上；温度或温升超限时，应通过氮气或冷物料循环