原创力文档12
CZ硅中形成与生长界
面形状的研究∗
男
信越，石部研发，群马县安乐町石部2-13-1379-0196
通过在150mm切萨尔斯基（CZ）晶体、中部（半径中点）和边缘（距
表面10mm处）安装三个热电偶，测量了晶体生长界面附近的温度分布。结
果表明，较高的生长速率会产生较小的温度梯度（G），这一现象与FZ晶体
的相似。结果似乎并不违背平衡方程，因为温度分布会连续延伸至晶体
本体。夫理论中的生长速率（v）不会直接影响点
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