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- 2026-08-28 发布于北京
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电子探针定量分析方法通则标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:GeneralRulesforQuantitativelyAnalysisMethodofElectronProbeMicroanalysis
摘要
关键词:电子探针;定量分析;微束分析;标准化;方法通则;材料表征
1引言
1.1背景与意义
电子探针显微分析技术自20世纪50年代问世以来,经过七十余年的发展,已从最初的地质矿物学研究工具演变为材料科学、冶金、电子、航空航天等领域不可或缺的微区成分分析手段。该技术利用聚焦电子束激发试样特征X射线,通过波长色散谱仪(WDS)或能谱仪(EDS)检测,实现对试样微米级区域化学成分的定性和定量分析,具有分析精度高、检出限低、空间分辨率优异以及对试样微损等突出优势。
随着国家质量基础设施建设战略的深入推进以及新材料研发、先进制造、资源勘探等领域对材料微区成分精确表征需求的持续增长,电子探针定量分析方法的标准化工作愈发受到重视。GB/T15074《电子探针定量分析方法通则》作为该领域的基础性方法标准,其修订和完善对于保障分析结果的准确性、可比性和可追溯性具有重要的基础支撑作用。
1.2标准修订必要性
原GB/T15074-2016版标准自发布实施以来,对指导和规范国内电子探针定量分析工作发挥了重要作用。然
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