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CN119179239A 一种极紫外光刻胶轮廓的预测方法、预测装置和电子设备 （广东省大湾区集成电路与系统应用研究院）.pdfVIP

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  • 2026-08-31 发布于重庆
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CN119179239A 一种极紫外光刻胶轮廓的预测方法、预测装置和电子设备 （广东省大湾区集成电路与系统应用研究院）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119179239A

    (43)申请公布日2024.12.24

    (21)申请号202411602044.1

    (22)申请日2024.11.11

    (71)申请人广东省大湾区集成电路与系统应用

    研究院

    地址510535广东省广州市开发区开源大

    道136号A栋

    (72)发明人何广剑韦亚一范泰安王云

    (74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

    11332

    专利代理师马迪

    (51)Int.Cl.

    G03F7/20(2006.01)

    G03F7/26(2006.01)

    权利要求书4页说明书15页

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