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碳化硅产业链市场分析与应用前景.pdf

碳化硅产业链市场分析与应用前景.pdf

    碳化硅产业链市场分析

    1.碳化硅产业链包括上游衬底和外延、中游器件、下游应用

    以碳化硅材料为衬底的产业链主要包括碳化硅衬底材料的制备、外延

    碳化硅器件制造环节与硅基器件的制造工艺流程大体类似主要包括光刻清洗掺杂蚀刻成膜减薄等工艺不少功率器件制造厂商在硅基制造流程基础上进行产线升级便可满足碳化硅器件的制造需求在此我们仅对其需要改进或新开发的设备进行探讨由于碳化硅硬和化的刻蚀功率碳

    层的生长、器件制造以及下游应用市场。从工艺流程上看，碳化硅一

    般是先被制作成晶锭，然后经过切片、打磨、抛光得到碳化硅衬

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