《多轴干涉镜组测试方法 第1部分：光学性能》标准立项修订与发展报告.docx

《多轴干涉镜组测试方法第1部分：光学性能》标准立项修订与发展报告

多轴干涉镜组测试方法第1部分：光学性能

TestMethodforMulti-axisInterferenceMirrorGroups—Part1:OpticalProperties

摘要

随着集成电路制造工艺向纳米级甚至原子级尺度持续演进，光刻机等超精密制造装备对位移测量精度提出了前所未有的严苛要求。高速双频激光干涉仪作为超精密位移测量的核心手段，其关键组件——多轴干涉镜组的光学性能直接决定了整机测量精度与稳定性。然而，长期以来该领域缺乏统一的测试方法标准，导致各厂商产品性能参差不齐，用户难以进行客观评价与横向比对，严重制约了行业高质量发展。本报告基于国家标准项目《多轴干涉镜组测试方法第1部分：光学性能》（计划号：2026003043）的立项背景与技术内容，系统阐述了该标准的制定意义、适用范围、主要技术路线及核心测试方法。标准确立了光学非线性、容差角、光轴平行度三项关键光学性能参数的测试规范，分别采用频谱分析法、交直流比检验法和平行光管法进行量化表征，并统一了测试环境、设备能力、测试步骤、数据处理及结果表达方式。该标准的制定填补了国内多轴干涉镜组光学性能测试方法标准的空白，对规范市场秩序、促进国产化替代、支撑超精密制造技术自主可控具有重要的基础性支撑作用。

关键词：多轴干涉镜组；光学性能测试