无尘服静电性能定期检测细则
1总则
静电防护的失效往往不是“有没有做”,而是“做得准不准”。无尘服在洁净室中同时承担两项关键功能:阻隔人体微粒污染产品、通过导电纤维网络将人体静电泄放至接地系统。后者一旦失效,操作人员在接触ESD敏感器件时可能直接造成器件栅极氧化层击穿,且此类损伤在出厂测试中不一定能被筛选出来,形成“带病出货”的隐患。本细则的核心立场是:检测不是抽样走过场,而是对每一件在用无尘服建立可追溯的静电性能档案。
1.1目的
规范无尘服静电性能的定期检测流程,确保在用无尘服的点对点电阻、点对地电阻、摩擦起电电压、静电衰减时间等关键指标持续满足ESD防护要求,防止因织物老化、洗涤损伤
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