P任务操作机理揭秘.pptVIP

Theoryintroduction;P5000Minframeoverview;Poweron;RemoteACbox;ACbox;DCpower;;;;;Expand12gasesto28gases.;Heatexchanger;1.AMAT-0standard

工作温度：20℃-80℃

冷却液：50%ethyleneglycol50%DIwater

流量：2gpm

容量：2gallon

2.AMAT-1hightemperature

工作温度：20℃-120℃

冷却液：100%ethyleneglycol

流量：1.25gpm

容量：2gallon

3.Neslab

工作温度：5℃-35℃

冷却液：50%ethyleneglycol50%DIwater

容量：5gallon

;AMATHeatExchanger;AMATstandard;AMAT-1hightemperature;;第18页;Wafertransfersubsystem;Robot方向;;P5000robotassemblely;robotblade;手臂取片位置;Handlermanualcontrol;TRANSFERSTEPPERMOTORSCONTROL;ETCHchamber;ETCHch