《表面化学分析分析样品制备及安装的记录和报告》.docxVIP

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表面化学分析样品处理、制备和安装第2部分：分析样品制备及

安装的记录和报告

1范围

本文件规定了分析人员在数据表、分析证书、报告和其他出版物中，应记录和报告的表面分析样品处理、制备、加工及安装等相关信息。

为保证分析结果的可靠性、可重复性及可评价性，应采用适当的样品处理方法，并对处理过程进行充分记录。上述信息作为样品合成、加工历史及表征等相关信息的补充，应纳入数据记录（有时称为来源信息，provenanceinformation），用于记录材料的来源及其形成后所经历的各种变化。

本文件还包括一个规范性附录，对表面分析样品制备和安装过程中涉及的重要环节及常用方法进行了概述。需要记录和报告的各项操作，按照分析人员的实际工作流程编排，即从接收样品开始，依次包括分析室外的清洗或加工、样品安装以及分析腔内处理等过程。

本文件对上述过程及其影响进行了说明，以帮助分析人员理解采用俄歇电子能谱（AES）、二次离子质谱（SIMS）和X射线光电子能谱（XPS）等技术进行分析时，对特殊样品处理条件及方法的记录和报告要求。本文件所述方法同样适用于其他对表面成分敏感的分析技术，如全反射X射线荧光光谱（TXRF）、低能电子衍射（LEED）、部分扫描探针显微镜（SPM，包括原子力显微镜AFM和扫描隧道显微镜STM）、紫外光电子能谱（UPS）以及中能离子散射（MEIS）和低能离