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晶圆测试MES系统建设方案.docx

晶圆测试MES系统建设方案.docx

    晶圆测试MES系统建设方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、晶圆测试MES系统建设背景与目标 3

    二、项目需求分析与业务流程规划 5

    三、系统总体架构设计与功能划分 7

    四、核心技术架构与选型方案 10

    五、晶圆批次与流转管理模块 13

    六、测试任务计划与排程调度模块 16

    七、测试设备数据采集与上控集成模块 19

    八、测试参数实时监控与预警管理 22

    九、晶圆追溯与全路径数据管理 24

    十、良率统计与质量数据分析模块 26

    十一、生产异常处理与自动告警机制 28

    十二、MES与ERP及EAP系统集成方案 31

    十三、系统数

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