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《电子级双氧水技术要求编制说明》.pdf

《电子级双氧水技术要求编制说明》.pdf

    《电子级双氧水技术要求》（征求意见稿）

    编制说明

    一、工作简况

    （一）任务来源

    本文件由中国技术市场协会提出并归口，经中国技术市场协

    会标准化工作委员会批准，正式列入2026年团体标准制修订计

    划，标准名称为《电子级双氧水技术要求》。

    （二）项目背景

    电子级双氧水是集成电路、半导体器件、液晶显示面板、光

    伏电池等高端电子制造业中不可或缺的关键湿电子化学品，主要

    用于晶圆清洗、蚀刻和氧化等核心工艺环节。其纯度、金属杂质

    含量、颗粒控制等

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