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电阻式传感器的工作原理概述

1.1气敏传感器

气敏传感器是根据声表面波器件的波速和频率随着外界环境的改变而产生漂移的原理而研制的一种新型传感器。气敏传感器是一种特殊的气体探测装置。半导体气体传感器主要由半导体气体传感器、接触燃烧式气体传感器、电化学气体传感器等。如图2-1为气敏传感器外形。

图2-1气敏传感器

根据探测气体的类型，气体传感器通常可分为可燃气体传感器（常用的有催化燃烧传感器、红外传感器、热导传感器、半导体传感器等）。按仪器的用法，可分为固定式和便携式两种。按获取气体样本的方法可分为扩散式（也就是直接将传感器安装在受试者周围，测量气体直接与传感器探测单元进行自然扩散）、吸入式（是指通过使采用抽气泵等方法，将被测气体导入到传感元件中，并对其进行测量）。

目前，在煤矿易燃易爆气体探测中，传感器的工作原理主要有：载体催化燃烧式、热导式、光干涉式、半导体式等。催化燃烧传感器的使用寿命较短，稳定性较差，经常需要经常进行修正；热传导传感器检测的信号非常微弱，仅适合于气体浓度较高的检测；光学干涉气体传感系统的复杂性较高，维护成本高，受环境影响大；半导体式气体传感器利用半导体材料的氧化还原特性，通过测量电阻值的变化实现对气体含量和种类的检测，具有灵敏度高，响应快等优点。利用ZnO纳米材料对甲烷气体敏感特性的研究相对较少，且存在灵敏度低，响应恢复时间慢等诸多问题。因此，开发具