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- | 2026-07-30 颁布
- | 2027-02-01 实施
ICS31.200
CCSL55
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT42709.212026IEC62047-212014
半导体器件微电子机械器件
第部分:薄膜材料
21MEMS
泊松比测试方法
——
SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices
:’
Part21TestmethodforPoissonsratioofthinfilmMEMSmaterials
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