CN119646383A 一种基于Ftest检验的晶圆制程数据分析方法 （江苏道达智能科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119646383A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202411605717.9

(22)申请日2024.11.12

(71)申请人江苏道达智能科技有限公司

地址211100江苏省南京市江宁区秣陵街

道铺岗街388号3栋（江宁开发区）

(72)发明人胡志宏戴敏辛琳李好

(74)专利代理机构南京睿之博知识产权代理有

限公司32296

专利代理师杨雷

(51)Int.Cl.

G06F17/18(2006.01)

G06Q10/0639(2023.01)

权利要求书2页说明书6页附图1