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《微机电系统（MEMS）技术 制造能力评估 第2部分：器件设计编制说明》.pdf

《微机电系统（MEMS）技术 制造能力评估 第2部分：器件设计编制说明》.pdf

    国家标准《微机电系统(MEMS)技术制造能力评估第2部

    分器件设计》（征求意见稿）编制说明

    一、工作简况

    1、任务来源

    《微机电系统(MEMS)技术制造能力评估第2部分器件设计》标准制定

    是国家标准化管理委员会2025年第六批国家计划项目，计划项目批准文号：国

    标委发【2025】34号，计划编号T-469，下达日期为2025年7月1

    日。由国家标准化管理委员会提出，全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC

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