原创力文档国家标准《微机电系统(MEMS)技术制造能力评估第2部
分器件设计》（征求意见稿）编制说明
一、工作简况
1、任务来源
《微机电系统(MEMS)技术制造能力评估第2部分器件设计》标准制定
是国家标准化管理委员会2025年第六批国家计划项目，计划项目批准文号：国
标委发【2025】34号，计划编号T-469，下达日期为2025年7月1
日。由国家标准化管理委员会提出，全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC
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