完整版薄膜混合集成电路工艺讲座.pptVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.19万字
  • 约 98页
  • 2026-09-03 发布于重庆
  • 举报

点胶图形3.管芯烧结

虽然导电胶和缘绝胶贴片非常方便,生产率高。但在微波频率高时或功率大时;由于导电胶的电阻率大(100~500μΩ·cm),导热系数(2~8W/m·k)小就会造成微波损耗大,管芯热阻大,结温高,功率输出大打折扣,可能影响可靠性。粘结和焊结材料性能如下表所示。几种贴片材料主要电热机械性能比较贴片材料热导率(W/m·K)电阻率(×10-6Ω)剪切强度(Mpa)导电胶2-8100-5006.8-40绝缘胶0.2-1.7101412.4(ME7156)Au/Si29377.5?Au/Sn25135.9185Au/Ge?28.7220PbSn5014.528.5(1)??GaAs管芯烧结GaAs管芯背面一般都有足够厚的Au层(比如数十μm)作为热沉。这种管芯可以用AuSn或AuGe焊料片焊接。1°AuSn(80%Au20%Sn),共晶温度280℃,热夹具表面温度应在300℃±10℃,N2气保护。2°先把基片放(基片上的Au层应足够厚,或者有阻挡层)在热夹具上预热。3°在基片上放上Preform焊片。4°再用尖镊子夹起管芯在焊片上摩擦3-4个来回。5°当看见焊料融化,取下基片即可。对于MOS电容,若背面有足够厚的金层也

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档