原创力文档2026年薄膜材料与技术材料加工工艺测试
考试时间：______分钟总分：______分姓名：______
性好的薄膜A热蒸发B电子束蒸发C原子层沉积ALDD等离子体增强溅射在薄膜生长过程中如果成核速率远大于生长速率则倾向于形成A大晶粒薄膜B细晶粒薄膜C气孔薄膜D非晶态薄膜下列哪种仪器主要用于观察薄膜的表面形貌和微结构AX射线衍射仪XRDB扫描电
一、填空题（每空2分，共20分）
1.薄膜按厚度可分为超薄薄膜（小于0.1微米）、薄薄膜（0.1-1微米）和
厚薄膜（大于1微米
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