原创力文档碳化硅晶圆产线环境管控规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、碳化硅晶圆产线环境管控总则 2
二、生产区域环境规划与选址设计要求 4
三、洁净室空气质量与温湿度控制标准 6
四、工艺废气收集与净化处理技术规范 8
五、酸碱废水处理与中和排放标准 10
六、有机溶剂回收利用与减排管控 12
七、一般工业固体资源化利用与转运 15
八、特种气体使用与环境安全管控措施 17
九、生产用水循环利用与节水节效措施 19
十、化学品泄漏防护与环境应急技术标准 21
十一、环保设施运行监控与定期维护要求 24
十二、环境污染源监测与数据记录体系
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